電渦流傳感器是利用物理學(xué)中的電渦流效應(yīng),將一些非電量轉(zhuǎn)換為阻抗的變化(或電感、Q值等的變化),從而進(jìn)行非電量(如機(jī)械量)的轉(zhuǎn)換。當(dāng)一個(gè)通有交變電流人的傳感器線圈,由于電流的變化,在線圈周圍就會產(chǎn)生一個(gè)交變的磁場H1。如果被測導(dǎo)體置于該磁場范圍中,被測導(dǎo)體內(nèi)便會產(chǎn)生電渦流12,電渦流也將產(chǎn)生一個(gè)新磁場H2 , H2與H,方向相反,因而抵消了部分原磁場,從而導(dǎo)致線圈的電感量、阻抗和品質(zhì)因數(shù)發(fā)生改變。
通常,傳感器線圈的阻抗、電感和品質(zhì)因數(shù)的變化與導(dǎo)體的幾何形狀、電導(dǎo)率、磁導(dǎo)率有關(guān),也與線圈的幾何參數(shù)、電流的頻率以及線圈到被測導(dǎo)體間的距離等有關(guān)。如果使上述參數(shù)中的一個(gè)參數(shù)改變,而其它參數(shù)保持不變,就可以構(gòu)成測量轉(zhuǎn)速、位移、溫度、硬度等各種傳感器。